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第五十一章 光源测试(下) (第1/2页)

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众人回到控制室,罗阳坐到其中一台电脑前,说道:

“测你们这种薄膜样品,x射线要以近乎水平的角度射到硅片的边缘。

需要保证每次测试时,刚好有一半的x射线被硅片挡住,另一半x射线则照射到样品表面,与样品发生作用,产生衍射信号,最终被信号收集器收集。

为了防止信号收集器射线直接照射,要在它的前面放置一枚铅制硬币,用来吸收绝大部分的x光。

现在我们来进行调试。”

罗阳一边用编程语言控制测试舱内的仪器,一边介绍:

“调试过程就只是给你们讲一下,不懂的话也不影响你们测试。

第一步,我们先把样品台在垂直方向,也就是z方向上,向靠近地面的方向移动,使样品完全没有挡住x射线。

此时,检测器上的信号强度是几乎恒定的,也是它的最大值,这个极值需要记录下来。

第二步,将样品台缓缓上升,直到检测器上的信号强度开始降低,这就表明样品开始挡住x射线了。

第三步,让样品台的z坐标,在一个较小的范围内线性变化,在此期间对信号强度进行扫描,得到信号强度随z坐标变化的曲线。

找到信号强度为最大强度的一半左右时对应的z坐标,并将样品台移动到此z坐标处。

这个时候,对应的就是有一半的x射线被样品挡住的状态。

第四步,我们需要标定样品台的旋转角度,因为我们并不知道入射的x光是否是完全平行于样品表面的。

让样品台的旋转角θ,在一个较小的角度范围内变化,在此期间对信号强度进行扫描,得到信号强度随θ变化的曲线。

找到信号强度最大时对应的θ坐标,将样品台的旋转到这个角度,此时x光就是平行射到样品侧面的。

将此时的旋转角手动设为0度。

因为我们旋转了样品台,所以入射x光不再是被样品挡住一半的状态了。

因此需要重复第三步、第四步。

直至第四步样品信号最高值处,对应的旋转角为0度为止。

就像现在这样,我们就完成了调试。”

“调试完成后,设置好入射角度就可以测试了,你们的入射角一般多少度?”罗阳向陈婉清问道。

“012度吧。”陈婉清道。

罗阳在电脑中敲了一段代码:

uv thita 012;

按下回车,然后道:

“设置好了,你们每次换了样品后,都要看一下检测器上的信号强度是不是接近最大值的一半。

如果偏离过大,就需要重新切光,也就是重复第三步和第四步。

切好光后,再把入射角改到012度。”

“这几步的操作都可以在这本用户手册中找到,里面有个测试登记表记得要填一下。”罗阳将手册递给陈婉清,说道:

“我在上面给你们留了电话,有事给我打电话,要是提前测完要离开的话,就去总控把光关掉,然后给我发个短信就好。

之后的测试用软件就可以操作了,不用我再教一遍了吧。”

“不用教了,软件我会用的。”陈婉清道。

……

罗阳走后,陈婉清开心道:“这次调试算比较快了,只花了一个多小时。”

“是啊,感觉罗阳对仪器还是比较懂的,应该是这边的老师吧,”许秋看了眼时间,说道:“都快晚上十一点了。”

“那我们来分工吧,一个人负责换样品,另一个人负责测试。”陈婉清道。

“我来换样品吧,体力活交给我,先测已经装好的1号样品吧。”许秋道。

陈婉清点点头,开始操作软件,设置好样品名称、文件存储位置、曝光时间。

“测新样品时,通常要先测曝光10秒的数据,看看得到的图像有没有什么问题。

如果所测样品的表面不平整,可能会造成图像中某些区域的信号强度过高,甚至超出仪器的检测限,这种情况就需要重新去测试舱调整样品的位置。

如果图像中没有异常点出现,就可以把曝光时间调到100秒、200秒、300秒或其他时间。

只要最高信号强度不超过5万,曝光时间越高则得到的图像质量越好。”陈婉清道。

1号样品,10秒曝光测试后,没有异常点出现,最高信号强度为100

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